این  روش یعنی طیف سنجی فلورسان پرتو ایکس رایجترین روش تجزیه برای تعیین شیمی عناصر اصلی و کمیاب نمونه های آلیاژی فلزی، معدنی و محیط زیستی است. این روش کارآمد و مفید بوده و می تواند بیشتر از 80 عنصر را در گستره ای وسیع از حساسیت تجزیه کرده و غلظت هایی از 100 % تا چند ppm را تعیین کند. همچنین این روش سریع بوده و تعداد زیادی تجزیه دقیق را در زمانی نسبتأ کوتاه انجام می دهد.

از قا بلیت های دستگاه می توان به موارد ذیل اشاره نمود:

• توانایی اندازه گیری و آنالیز در کمترین زمان ممکن
  
• توانایی آنالیز مواد با دمای بالا ، تا دمای 426 درجه سانتیگراد
  
• توانایی آنالیز بدون تخریب (NDT)